La lubrification Turbomolecular de Maglev pompent la consommation de puissance faible d'ISO-K/CF

Pompe Maglev, CXF-200/1400, refroidissement par eau, ISO-K / CF, contrôleur externe

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grâce à la force magnétique.

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.

Les technologies:

• Technologie de commande pour paliers magnétiques: lévitation magnétique à 5 axes, basée sur la théorie de commande internationale avancée, pour garantir les avantages aussi importants de l’arbre à grande vitesse, comme un fonctionnement lévité stable et fiable.
• Technologie d'entraînement motorisé: moteur à courant continu à haute vitesse et système de servocommande à haute efficacité, permettant de maximiser l'énergie du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, assurant ainsi un démarrage stable, un fonctionnement fiable et une fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique .
• Technologie de rotor composite en fibres de carbone: fabriquée en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. caractérisé par une réduction importante du poids et une amélioration importante de la résistance, de manière à atteindre les objectifs de vitesse de rotation élevée, de performances élevées et de fiabilité élevée.
• Technologie de résistance à la corrosion: Les surfaces des pièces dans les chambres sont traitées avec un procédé spécial, de sorte qu'elles puissent résister longtemps à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont entièrement remplis dans l’arbre des pompes afin de protéger les pièces à vide faible dans les pompes, de sorte que le fonctionnement de l’évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisé.
• Système de contrôle de la température de chauffage: équipé d’un chauffage électrique et d’un régulateur de température, il est possible de surveiller et de contrôler pendant le fonctionnement de l’eau de refroidissement, du chauffage air-os, du chauffage électrique et de la chaleur véhiculée par les gaz de protection, une température pouvant être maintenue à À long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à la température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences relatives à des procédés spéciaux tels que la gravure peuvent être satisfaites.

Les avantages:

1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2. Facile d'acquérir le vide très propre et le vide ultra propre sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme

4. Sécurité élevée et longue durée de vie en raison de la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

5. fonction de production d'énergie en cas de coupure de courant soudaine

6. Sans frottement

7. Libre de pollution

8. Libre d'entretien

9. Basse vibration

10. installé dans n'importe quelle orientation.

Applications:

Extraction de gaz corrosifs présents dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d’implantation et de gaz facilement coagulés à température normale dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, du placage industriel et des instruments scientifiques,

Caractéristiques: