Détails sur le produit:
Conditions de paiement et expédition:
|
Vitesse de pompage: | N2 3000L/s | Contrôleur: | externe |
---|---|---|---|
Bride: | ISO-F | Refroidissement: | l'eau |
Surligner: | pompes moléculaires de turbo,pompe à vide de turbo |
Pompe Maglev, CXF-320 / 3000E, refroidissement Waterr, ISO-F, contrôleur externe
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grâce à la force magnétique.
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.
Le palier électromagnétique est également appelé "ours à lévitation magnétique active", composé d'un palier magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a une réponse dynamique et un ajustement rapide, un arbre fiable et un fonctionnement fiable.
Les avantages:
1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie
2. Facile d'acquérir le vide très propre et le vide ultra propre sans lubrification pour les pompes
3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme
4. Sécurité élevée et longue durée de vie en raison de la protection des roulements avec des billes en céramique de précision
5. fonction de production d'énergie en cas de coupure de courant soudaine
6. Sans frottement
7. Libre de pollution
8. Libre d'entretien
9. Basse vibration
10. installé dans n'importe quelle orientation.
Les technologies:
Caractéristiques:
Bride (en) | DN250 ISO-F |
Bride (Out) KF | DN50 |
Vitesse de pompage (L / s) | N 2 : 3000 |
Ar: 2750 | |
Il: 2300 | |
H 2 : 1100 | |
Ratio de compression | N 2 : 10 8 |
Ar: 10 8 | |
Il: 10 4 | |
H 2 : 10 3 | |
Pression ultime (Pa) | FC: 1 × 10 -6 |
ISO-K / F: 6 × 10 -6 | |
Max. Pression continue sous vide (Pa) | 40 |
Max. Pression avant vide | N 2 : 290 |
Gaz tout au long (sccm) | N 2 : 5800 |
Ar: 2200 | |
Il: 4300 | |
H 2 : 3100 | |
Vitesse de rotation (tr / min) | 21000 |
Temps de montée (min) | ≤18 |
Type de refroidissement, standard | Eau |
Consommation d'eau de refroidissement (L / min) | 1 |
Température de l'eau de refroidissement () | 20 |
Connexion électrique: tension (V CA) | 220 |
Modèle de contrôleur | CXF-3000 |
Poids (kg) | 70 |
Applications:
Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques, en particulier l'extraction des gaz corrosifs existant dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d'ions, ainsi que des gaz facilement coagulés à température normale.
Personne à contacter: sales
Téléphone: +8613810212935