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Aperçu ProduitsPompe de Turbomolecular

Pompe de refroidissement par l'eau Turbomolecular/pompe faite de la lévitation par Magentically à bord de contrôleur

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Pompe de refroidissement par l'eau Turbomolecular/pompe faite de la lévitation par Magentically à bord de contrôleur

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Détails sur le produit:
Lieu d'origine: La Chine
Nom de marque: KYKY
Certification: CE
Numéro de modèle: CXF-320/3001E
Conditions de paiement et expédition:
Quantité de commande min: 1
Détails d'emballage: Boîte en bois pour l'expédition d'outre-mer
Délai de livraison: 4weeks
Conditions de paiement: T/T, L/C
Description de produit détaillée
Incidence: Magnétique Vitesse de pompage: N2 3200L/s
Refroidissement: L'eau Bride: ISO-F
Contrôleur: À bord
Surligner:

pompes moléculaires de turbo

,

pompe à vide turbomolecular

Pompe Maglev, CXF-320 / 3001E, refroidissement par eau, ISO-F, à bord

Le palier électromagnétique est également appelé "ours à lévitation magnétique active", composé d'un palier magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a une réponse dynamique et un ajustement rapide, un arbre fiable et un fonctionnement fiable.

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grâce à la force magnétique.

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.

Avantages:

1. Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2. Facile d'acquérir le vide très propre et le vide ultra propre sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme

4. Sécurité élevée et longue durée de vie en raison de la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

5. fonction de production d'énergie en cas de coupure de courant soudaine

6. Sans frottement

7. Libre de pollution

8. Libre d'entretien

9. Basse vibration

10. installé dans n'importe quelle orientation.

Applications:

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques, en particulier l'extraction des gaz corrosifs existant dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d'ions, ainsi que des gaz facilement coagulés à température normale.

Caractéristiques:

Modèle CXF-320/3001
Vitesse de la pompe (l / s, air) 3200
Ratio de compression > 1 × 10 8
Ultimate Vacuum (Pa) ≤5 × 10 -7
Bride d'entrée ISO-F 320
Bride de sortie KF 40
Vitesse de rotation (tr / min) 24000
Temps de montée (min) 12
VIB (mm) <0,05
Pompe auxiliaire (l / s) 15
Montage ou orientation Tout
Méthode de refroidissement Eau
Poids (kg) (avec contrôleur) 75

Les technologies:

  • Technologie de commande pour paliers magnétiques: lévitation magnétique à 5 axes, basée sur la théorie de commande internationale avancée, pour garantir les avantages aussi importants de l’arbre à grande vitesse, comme un fonctionnement lévité stable et fiable.
  • Technologie d'entraînement motorisé: moteur à courant continu à haute vitesse et système de servocommande à haute efficacité, permettant de maximiser l'énergie du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, assurant ainsi un démarrage stable, un fonctionnement fiable et une fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique .
  • Technologie de rotor composite en fibres de carbone: fabriquée en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. caractérisé par une réduction importante du poids et une amélioration importante de la résistance, de manière à atteindre les objectifs de vitesse de rotation élevée, de performances élevées et de fiabilité élevée.
  • Technologie de résistance à la corrosion: Les surfaces des pièces dans les chambres sont traitées avec un procédé spécial, de sorte qu'elles puissent résister longtemps à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont entièrement remplis dans l’arbre des pompes afin de protéger les pièces à vide faible dans les pompes, de sorte que le fonctionnement de l’évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisé.
  • Système de contrôle de la température de chauffage: équipé d’un chauffage électrique et d’un régulateur de température, il est possible de surveiller et de contrôler pendant le fonctionnement de l’eau de refroidissement, du chauffage air-os, du chauffage électrique et de la chaleur véhiculée par les gaz de protection, une température pouvant être maintenue à À long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à la température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences relatives à des procédés spéciaux tels que la gravure peuvent être satisfaites.

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