Instruments scientifiques d'innovation
Se développer en entreprises de première classe
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Détails sur le produit:
Conditions de paiement et expédition:
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| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
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| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| Mettre en évidence: | microscope électronique des PSEM,machine des PSEM |
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En tant que Kyky sur 60 ans d'expérience de fabrication SEM, toute la série EM prend en charge l'ancien système rénové et personnalisé en tant que SEM +, tels que le remodelage de la lithographie par faisceau d'électrons, la mise à niveau de Lab6, intégrée à STM, AFM, stade de chauffage; étage cryo; étape de tension; détecteur de micro-nano, etc.
Advanteges:
◆ Modules à vide faible en option (LVSE, LVBSE)
◆ Fonctions d'automatisation riches
◆ Personnalisation du système colonne / chambre / électrique
◆ Chambre de grande taille en option
◆ Caméra de navigation sur le terrain large
◆ Pièces jointes riches en expansion
Caractéristiques:
| Article | EM6910 Tungsten Filament SEM | |
| Résolution | SE: 3NM @ 30KV, 8NM @ 3KV ； BSE: 4NM @ 30KV | |
| Grossissement | 1x-450000X | |
| Pistolet électronique | Filament de tungstène pré-aligné | |
| Accélération de la tension |
0,2 kV-30KV
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Système d'aspirateur
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Turbo Molecular Pump + Pompe mécanique
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| Ouverture objective | Molybdenum Aperture Réglable Système d'aspirateur à l'extérieur | |
| Étape de l'échantillon | Étape de cinq axes | |
| Voyage | X (auto) | 0 ~ 80 mm |
| Gamme | Y (auto) | 0 ~ 50 mm |
| Z (manuel) | 0 ~ 30 mm | |
| R (manuel) | 360 ° | |
| T (manuel) | -5 ° ~ 70 ° | |
| Diamètre du spécimen maximum | 175 mm | |
| Détecteur |
Détecteur d'électrons secondaires
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Détecteur d'ESB semi-conducteur ※
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CCD infrarouge
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| SED à faible vacuum ※ / BSED-VACUUM ※
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| Modification | Mise à niveau de la scène; EBL; STM; AFM; Étape de chauffage; Étape cryo; Étape de traction; Micro-Nano Manipulateur; Machine de revêtement SEM +; SEM + laser | |
| Accessoires | Lab6, détecteur de rayons X (EDS), EBSD, CL, WDS, machine à revêtement | |
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Fonction de vide faible ※
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Niveau de vide 10-270pa SE: 4NM @ 30KV, 50PA
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Personne à contacter: Ms. Wang He
Téléphone: 86-10- 82548271
Télécopieur: 86-010-62564613
