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Aperçu ProduitsPompe de Turbomolecular

Refroidissement par l'eau industriel à bord de la pompe de 1401L/S Turbomolecular

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Refroidissement par l'eau industriel à bord de la pompe de 1401L/S Turbomolecular

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Image Grand :  Refroidissement par l'eau industriel à bord de la pompe de 1401L/S Turbomolecular

Détails sur le produit:
Lieu d'origine: La Chine
Nom de marque: KYKY
Certification: CE
Numéro de modèle: CXF-200/1401E
Conditions de paiement et expédition:
Quantité de commande min: 1
Détails d'emballage: Boîte en bois pour l'expédition d'outre-mer
Délai de livraison: 4weeks
Conditions de paiement: T/T, L/C
Description de produit détaillée
Vitesse de pompage: 1401L/s lubrification: Maglev
Bride: ISO-F/CF 200 Refroidissement: L'eau
Surligner:

pompes moléculaires de turbo

,

pompe à vide turbomolecular

,

Pompe industrielle de Turbomolecular

Pompe Maglev, CXF-200/1401, refroidissement par eau, à bord

Le palier électromagnétique est également appelé "ours à lévitation magnétique active", composé d'un palier magnétique, d'un capteur et d'un système de contrôle. Cette conception a une réponse dynamique et un ajustement rapide, un arbre fiable et un fonctionnement fiable.

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique sont les pompes dont l’arbre est supporté grâce à la force magnétique.

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de série sont des équipements de génération de vide développés par KYKY pour répondre aux exigences des applications dans les domaines de la fabrication moderne de semi-conducteurs, de la fabrication de puces, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques.

Les technologies:

  • Technologie de contrôle pour roulement magnétique: Le système électromagnétique adopté est un système de lévitation magnétique à 5 axes. Cette conception peut avoir une réponse dynamique et un ajustement opportun au moyen de la technologie de contrôle de suspension magnétique active à circuit fermé dynamique basée sur la théorie de contrôle internationale avancée, de manière à garantir les avantages significatifs de l’arbre à grande vitesse comme fonctionnement stable et fiable.
  • Technologie de contrôle d'entraînement: Un moteur à courant continu haute vitesse à haute efficacité et un système de servocommande sont appliqués aux pompes à lévitation magnétique en série, afin de maximiser l'énergie du moteur et de compenser automatiquement la vitesse de rotation de l'arbre, assurant ainsi un démarrage stable, fonctionnement fiable et fonction de régulation automatique de l'énergie dynamique.
  • Technologie des rotors composites en fibre de carbone: Les turbomachines des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont fabriquées en mélangeant un alliage d'aluminium à haute résistance et de la fibre de carbone légère. Comparés à tous les rotors en alliage d'aluminium, les turbo-rotors se caractérisent par une réduction importante du poids et une amélioration importante de la résistance, de sorte que des objectifs de vitesse de rotation élevée, de performances élevées et de fiabilité élevée sont atteints.
  • Technologie de résistance à la corrosion: Les surfaces des pièces dans les chambres des pompes moléculaires à suspension magnétique en série sont traitées avec un procédé spécial, de sorte qu'elles puissent résister longtemps à la corrosion causée par les gaz corrosifs dans les processus de fabrication de semi-conducteurs. De plus, des gaz inertes tels que le N2 sont complètement remplis dans l’arbre des pompes afin de protéger les pièces à vide faible dans les pompes, de sorte que le fonctionnement de l’évacuation stable des gaz corrosifs pendant de longues périodes soit réalisé.
  • Système de contrôle de la température de chauffage: Les pompes moléculaires de la série à lévitation magnétique sont équipées d’un réchauffeur électrique et d’un régulateur de température, de sorte que l’eau de refroidissement, le chauffage à air pulsé, le chauffage électrique et la chaleur véhiculée par les gaz de protection puissent être surveillés et contrôlés pendant le fonctionnement les pompes peuvent être maintenues à une certaine valeur à long terme, certaines substances gazeuses ne sont pas converties en substances solides à température normale et ne se déposent pas dans les pompes, et les exigences relatives à des procédés spéciaux tels que la gravure peuvent être satisfaites.

Les avantages:

1.Zéro frottement pendant le fonctionnement et faible consommation d'énergie

2.Facile à acquérir un vide très propre et un vide très élevé sans lubrification pour les pompes

3. Capable d'extraire des gaz corrosifs à long terme

Sécurité 4.High et longue durée de vie due à la protection des roulements avec des billes en céramique de précision

Fonction de génération 5.power en cas de power-off soudain

Caractéristiques:

Modèle CXF-200/1401
Vitesse de la pompe (l / s, air) 1400
Ratio de compression > 1 × 10 7
Ultimate Vacuum (Pa) ≤2 × 10 -6
Bride d'entrée DN200 ISO K (LF)
DN200 ISO F
DN200 ISO CF
Bride de sortie KF 40
Vitesse de rotation (tr / min) 33000
Temps de montée (min) 6
VIB (mm) <0,05
Pompe auxiliaire (l / s) 15
Montage ou orientation Tout
Méthode de refroidissement Eau
Poids (kg) (avec contrôleur) 51

Applications:

Les pompes moléculaires à lévitation magnétique de la série sont principalement utilisées dans les domaines de la fabrication de semi-conducteurs, de la fabrication de clips, de la métallisation industrielle et des instruments scientifiques, en particulier l'extraction des gaz corrosifs existant dans les procédés de gravure, de CVD, de PVD et d'ions, ainsi que des gaz facilement coagulés à température normale.

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